半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
大型项目大环境
该产业化园集结了十余家光电器件一些公司厂家,构思日外理实力5000吨,可以外理来自五湖四海有所不同公司厂家的混合型喂养化工焦化废水。考虑到各公司厂家生育技艺差异性大,化工焦化废水材料更复杂变幻,外理强度较高。
废水处理工艺的成分及來源
废污水大部分还有两大类:高密度巧妙肥料废污水(光刻胶、成像液等)、含氟废污水(刻蚀流程)和强酸强碱废污水(的清洗流程)。异常部分还有异丙醇、四甲基氢阳极氧化铵等难化学降解巧妙肥料物,各类氟化物、氯离子等硅化物污染问题物。废污水COD下降大(500-3000mg/L),氟化物密度100-500mg/L,氯离子50-150mg/L。
净化处理加工制作工艺 环节
选择"分类整理回收利用+分质治疗+低效广度治疗"的科学创新经营模式:
机构内壁细分预清理:含氟废气独自采集而来并预清理
居民小区热力管网划分类别气力输送机体系
整体调接池营养均衡水环境
两极沥青混凝土发展清掉浮窗物和溶液
高质量生物体反應器(HBR)操作有机质严重污渍
臭氧的危害催化反应氧化物可降解难被分解转换成有机会物
反进行渗透体统进行脱盐外理
分光光度计线进行消毒保证 喷水健康安全
十分设制了网络监测站程序和电脑自动投加程序,对付水环境冲击。
终于效果好
装置运转五年来,清理治疗效果相对稳定牢靠。溢水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,可达地下水监测Ⅳ类标准,个部分中水循环于项目景观及降温塔保湿,中水循环率超越30%。每一年可以减少最新水运行约100万吨,为项目品牌省去有水费数千万的大写。