半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
好项目经验
该半导体器件公司在长角形省市,重点制作8寸大和12寸大晶圆,日污染物废供水量约2000吨。因为制作新工艺有难度,废泥中包含的好几种难溶解生产物和天价属阴阳离子,中国传统补救的办法得以满足了愈发按照严格的污染物标准规范。
污废水 组成成分及来原
工业废渣通常从何而来于六个重要环节:晶圆激光打孔工业废渣含更多硅粉和激光打孔液残余;化学式机械化拋光工业废渣蕴含氢氧化铁硅和考虑颗粒物;刻蚀擦洗工业废渣含氟化物、铜亚铁离子等巨资属;光刻生产工艺工业废渣则含光阻剂等有机物危害物。生活饮用水优缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物酸度高(200-400mg/L)、悬浮按钮物多且含氢化物发生器巨资属。
净化处理的工艺步骤流程
采用了"物理化学前整理+生物化学整理+强度整理"的组合成的工艺:
调控池均衡教育水质监测容量
水泥混凝土凝固清掉浮悬物和悬浊液物资
检查是否积淀物中法专治疗氟化物,添加钙盐组成氟化钙积淀物中
蛋白质水解酸性反应池提升生产废水可生化模式性
沾染空气氧化池分解有机物水污染
特异性炭吸咐塔实行深层除理
膜提取设计保障出水量水污染保持稳定
真对含铜生产废水单个设制正离子对调系统软件,环保再生资源回收有附加值的金属件铜。
然后功效
建设项目建起后电脑运行稳定性,水流COD<50mg/L,氟化物酸度<5mg/L,铜阴离子酸度<0.3mg/L,几项完成指标均依赖于地方《网络工业化的水造成的有害物质尾气摆放标准基准》(GB 39731-2020)。几乎每年可缩短COD尾气摆放标准约300吨,氟化物尾气摆放标准约50吨,出售铜重金属约2吨,满足了室内环境管理效益分析与实惠管理效益分析的互赢。