顶目大环境 西安某半导体器件厂加工全过程中一同出现高硅废气（SiO₂ 500-800mg/L）和含氟废气（F⁻ 200-300mg/L）。哪几种废气混后后常生成氟硅酸悬浊液，以往化学凝固法仍未不稳不合格。项目流程符合要求搜集的还原硅和氟（排放物准则：SiO₂≤30mg/L，F⁻≤10mg/L）。 废水处理基本成分及由来 包括含量 ：硅酸氢钠（NaHSiO₃）、氟化铵（NH₄F）、异丙醇 源头 ：晶圆刻蚀生产化工废水、CMP磨细生产化工废水、装备冲刷水 清理工序操作流程 协作沉淀自己阶段中 ： 两极发生反应池 ： 第1 级加药Ca(OH)₂转为CaF₂和CaSiO₃沉淀物； 2、级加药PAC（聚合反应氯化铝）增幅二沉池。 固液分離关键时期 ： 超滤膜设备 ：按照0.02μm管径膜配件挪作他用悬浊液硅和微细积淀物。 深浅脱氟阶段中， ： 活性氧脱色铝溶解塔 ：稳定度氟阴阳离子物理吸附取除。 以后作用 出水出水SiO₂≤25mg/L，F⁻≤8mg/L，远远高于祖国基准。 反渗透装置操作系统通量稳定性高在15LMH，电学冲洗周期性缩短至60天。 飞灰经压滤后含水量率＜65%，可按般固废处理应对。