項目游戏背景
本项目座落在华北区域一家人知名品牌半导手工制造机构,关键生產8厘米和12厘米晶圆。随着时间推移生产量改善,抛光环节发生的废发电量从本来的200吨/日扩大到350吨/日,同一处置设备已是没办法满足了标准,且出水量饮用水不稳固,亟须拆除和拆除废液处置系统。
废水处理化学成分及特征
该的企业研磨机废液通常产自接下来加工过程:
有机化学机碾磨(CMP)废污水:具有刺激性二阳极空气氧化硅、阳极空气氧化铝粉等碾磨颗粒物,粒度分布在0.1-1μm的范围
晶圆正反面精磨废水处理方法:含硅粉、重金属阳离子(铜、铝等)及一少部分有机肥料调用剂
薄片粉磨废水处理工艺:常见成份为无定形碳硅小粒和激光切割油保湿乳
污水特征表面为:pH值震荡大(2-11)、漂浮物溶液浓度高(500-2000mg/L)、具有微量分析天价属和难生物降解巧妙物,COD普通在200-500mg/L位置。
治理加工过程操作流程
进行数次小试和中试,最中知道所采用以内正确处理工学院艺:
调接池
:软件设置pH百度环境监测技术和智能投加系统软件,将生活污水pH稳定性高在6.5-7.5规模
水泥混凝土凝固
:加药缩聚氯化铝(PAC)和阴铝离子型聚炳烯酰胺(PAM),混合法体现后进入斜板沉定池
溶气气浮
:采取大部分流回式溶气气浮,进这一步的还原很小颗粒物和悬浊液材料
多导电介质过滤水
:应用熔融石英砂+活力性炭多级过虑,抓好有水出SS<10mg/L
膜处里装置
:涉及反进行渗透膜(UF)和反进行渗透(RO)有级,RO浓水专门整理
生活污水除理
:奠定和和气气浮生活污水经板框压滤后土石方工程处理
关键所在工艺设备技术指标:水泥混凝土时候G值管控在60-80s⁻¹,症状用时15min;气浮流回比30%,留在用时20min;超滤膜通量60LMH,反加入收集率75%。
终于特效
体统开机运行稳定性高后,冒水污水水质是符合《微电子工艺水污染源物尾气直接尾气排放标准标准的标准的》(GB39731-2020)特意尾气直接尾气排放标准标准的最大限度规范,具体完成指标下列:
SS<5mg/L(弄掉率>99%)
COD<30mg/L(我们要除率>93%)
铜阳离子<0.3mg/L
满水后回收利用率提高65%以下
飞灰减少40% compared to原施工工艺
该类目总交易约1200千元,工作成本投入约8.5元/吨水,每季度可避免废水处理方法尾气排放标准量2万桶,收旧污水从而性4万桶,生活效果和生活环境效果同质性。