半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
创业项目蓝本
该厂家为世界十大一流的半导体技术首测厂家,地处珠江三角洲形地段,主要是完成精致存储芯片的小学划片和封裝检验。因地方的环保标准要求按照严格,厂家取决于全面实施污水0排放标准建设工程。好项目于22年开机,2026年6月开建投入使用,处里资金额为200吨/日,总资金约2000亿元。
废水处理方法组成及来原
本项原因片区焦化废水体现了下优缺点:
高氧质量浓度氟化物,基本是来自于晶圆水刀切割后的的洗涤步骤,氟铝离子氧质量浓度高达模型150-200mg/L
具有刺激性奈米级硅粉颗粒肥料,孔径多在100-500nm两者
生物碳负荷什么意思较高,COD在500-800mg/L
含带微量分析血本属如铅、镉等
纯水电导率高,通畅在2000-3000μS/cm
整理工艺设计标准流程
为满足0排放量学习目标,生产技术方案特别了解污水分类别收集利用和环境资源收集:
废气划分收集整理系统软件
:将含氟废气与同一废气分类建立提取
生物学沉积除氟
:进行多级钙盐凝固法,积极配合高效率凝固池
最高级空气氧化工作
:老化催化反应阳极氧化生物降解难加工处理可挥发物
膜沉淀系统性
:用于DTRO碟管式反固化,萃取3的倍数为10倍
汽化晶粒
:MVR机蒸气再收缩冷疑器器除理浓水
干燥处理控制系统
:将析出盐缺水后作为一个工业生产副软件外售
加工的效果
整体加载信息体现:
氟化物洗去率>99.9%,有水出氟铝离子<1mg/L
COD总除去率>98%,留水COD<20mg/L
水能源二手回利用率>95%,仅诞生少量出析出盐
第年可收售高高质量使用水约10万吨
结晶体盐饱和度符合工业企业级条件,达成物资化采取
大型项目不光控制了化工废水零尾气排放,还利用成本回收处理造就了约80余万元/年的其他的理财收益。