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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

項目的背景 某魔幻半导体设备研发厂家地处长江三角型省市,关键发生晶圆和鑫霖环保芯片。在发生整个过程中,晶圆切割工作和打磨的时候发生过量磨研液生活污水,每日尾气排股票放量约50吨。伴随生活污池中具有高盐浓度悬停物、塑料阴阳离子及可挥发加上剂,间接尾气生态破坏物会对环境会造成严峻生态破坏,厂家急缺修建行业净化处理生活设施。 生活污水成分表及渠道 粉磨液工业废水注意来历于晶圆加工厂中的物理物理磨光(CMP)工艺,注意污染问题物其中包括: 悬屏颗粒状物 :二腐蚀硅、腐蚀铝等机磨颗粒物,粒级在0.1-1μm,氨水浓度高达hg2000mg/L。 五金铁离子 :铜、铁、锌等,源自抛光剂垫偏磨及晶圆外面合金层,铜阴离子酸度约50mg/L。 有机质加剂 :包扩表面层活力性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸碱化学物质 :pH值上下波动大,大部分在2-11两者之间。 治理施工工艺注意事项 共性废污水形态,通过“前处里+生化学+厚度处里”团体的工艺: 设定池 :平衡饮用水排水量,“添加酸碱度调pH至普通。 混凝土沉定 :加药PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),的还原自动隐藏物和悬浊液,沉降后SS的还原率>90%。 催化脱色脱色 :通过Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解无机使用剂,COD祛除率达60%。 海洋生物处理 :MBR膜海洋生物想法器进步骤分解超过生产物,COD调至100mg/L一些。 阴离子交易 :使用树脂材料气体吸附铜阳离子,冒水铜含锌量<0.5mg/L。 砂滤+催化活性炭吸附过滤装置 :加强组织领导水流使水变,达成《污废水一体化产生规定》(GB8978-1996)考试内容一级规定。 最终能够成果 程序进行平稳后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。 造纸焦化废水处理率达40%,余下合格进行尾气排放,年下降焦化废水进行尾气排放1.6万吨。 正确处理利润约15元/吨,远不超产业总值。

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